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     ICP霧化器采用嚴格的標準設計和制造，操作簡單、重現性好。它們可為固溶物低于1%的水溶液樣品提供靈敏度和精度。在ICP裝置中常采用氣動霧化裝置，一般要求霧化器能采用較低的載氣流量，如0.5-1 L/min、具有較低的樣品提升量，如0.5-2 ml/min、較高的霧化效率、記憶效應小、霧化穩定性好，且適于高鹽分溶液霧化及較好耐腐蝕能力，這些要求給霧化器的設計、制造帶來苛刻的限制。ICP所用的氣動霧化器有兩種基本的結構：同心型霧化器和正交型霧化器。